集成电路用硝酸 - 含量的测定

T/ICMtia PC008-2021 集成电路用硝酸

范围
本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。
分子式: HNO₃
相对分子质量: 63.01(按2014年国际相对原子质量)。

要求
外观
无色透明溶液。
规格
集成电路用硝酸的规格分为: IC-1级、IC-2级、IC-3级。
技术要求
集成电路用硝酸的技术要求见表1。






注: 1、可根据客户需求定制特殊规格产品。
      2、1μg/L=1ppb=1000ppt，1μg/kg=1ppb=1000ppt。

试验方法
含量的测定
试剂和材料
——氢氧化钠溶液，1.00mol/L；
——带盖PE烧杯。
仪器
自动滴定仪。
样品制备
用移液枪或吸量管移取约1.0g(精确至0.0001g)的样品至预先装有60g左右水的带盖PE烧杯中。
测定
按照自动滴定仪操作规程打开仪器，待机器处于稳定状态时，在自动滴定电脑界面上登入，选择方法以及样品质量等信息后点击“开始"即可。分析结束后记录数据。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.05%。